Распространенные типы датчиков

Резистивный тип
Резистивный датчик — это устройство, которое преобразует измеряемые физические величины, такие как смещение, деформация, сила, ускорение, влажность, температура и т. д., в значения сопротивления. В основном это резистивные тензодатчики, пьезорезистивные датчики, термодатчики, термодатчики, датчики газа, датчики влажности и другие компоненты резистивных датчиков.
Тензометр сопротивления
Тензорезистор в датчике оказывает эффект деформации металла, то есть производит механическую деформацию под действием внешней силы, в результате чего значение сопротивления изменяется соответствующим образом. В основном существует два типа тензорезисторов: металлические и полупроводниковые. Металлические тензорезисторы можно разделить на проволочные, фольговые и пленочные. Полупроводниковые тензорезисторы обладают преимуществами высокой чувствительности (обычно в десятки раз выше, чем у проволочных и фольговых датчиков) и небольшого поперечного эффекта.
Пьезорезистивный тип
Пьезорезистивный датчик — это устройство, изготовленное путем рассеивания сопротивления на подложке из полупроводникового материала в соответствии с пьезорезистивным эффектом полупроводникового материала. Подложку можно использовать непосредственно в качестве измерительного чувствительного элемента, а диффузионное сопротивление соединяется с подложкой в ​​виде электрического моста. Когда подложка подвергается деформации из-за внешних сил, значения сопротивления изменяются, и мост создает соответствующий несбалансированный выходной сигнал.
Материалами подложки (или мембраны), используемыми для пьезорезистивных датчиков, являются в основном кремниевые и германиевые пластины. Кремниевые пьезорезистивные датчики, изготовленные из кремниевых пластин как чувствительных материалов, привлекают все больше внимания, особенно твердотельные пьезорезистивные датчики, измеряющие давление и скорость.
Термическое сопротивление
Измерение температуры термического сопротивления основано на том факте, что значение сопротивления металлического проводника увеличивается с увеличением температуры для измерения температуры. Большинство терморезисторов изготовлены из чистых металлических материалов, наиболее часто используются платина и медь. Кроме того, для изготовления терморезисторов стали использовать такие материалы, как никель, марганец и родий.